Introduction
Modèle original sur le site de QuickField
d'après l'étude originale issue de l'Université Technique de Sofia :
Design and investigation of a thermal actuator
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Etapes de simulations.
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Fonctionalités.
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Un courant électrique circule entre les plots V+ et GND générant
une énergie thermique par effet Joule.
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Le microactionneur s'échauffe de façon dissymétrique avec une différence
de température marquée entre les deux branches.
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Les contraintes mécaniques provoquent une déformation de l'ensemble autour
des plots V+ et GND fixes.
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Données
Parametre |
Valeur |
Length Units |
Microns |
Lz |
1μ |
Model class |
Plane-parallel |
Problèmes (données communes).
Cheminement des données.
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Le problème mems_thermal_dc.pbm importe le terme "generated heat" du problème
mems_conduction_dc.pbm
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Le problème mems_stress_dc.pbm importe le terme "temperature field" du problème
mems_thermal_dc.pbm
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conductivité silicium : 23e-6 Ω•m soit une conductivité de
43478 S/m
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V+ : 5V
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GND : 0V
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Steady-State Heat Transfer :
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conductivité thermique silicium : 150 W/K•m
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Power of heat source ( voir ci-dessous )
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Pertes thermiques par convection et radiation
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Plots V+ et GND à une température de 0 °C
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Module d'Young silicium : 1.69e11 N/m²
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Power of heat source ( voir ci-dessous )
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Pertes thermiques par convection et radiation
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Plots V+ et GND à une température de 0 °C
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Passage 3D --> 2D (description)
La représentation de QuickField en 2D est rapide, mais ne prend
pas en compte les faces supérieure et inférieure du système.
On va pour cela prendre un volume de silicium de 20μ×20μ×1μ respectivement
largeur×longueur×épaisseur et faire varier la puissance volumique
à dissipée puis mesurer sur la face supérieure ("upper side") le flux
thermique traversant cette surface.
Ce flux étant multiplié par deux ( face supérieure + face inférieure ) et
divisé par le volume de silicium, on l'introduit alors dans la
partie "volume power of the heat source" comme indiqué ci-contre.
Le flux thermique des faces supérieure et inférieure est ainsi pris en compte.
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Propriétés thermique du bloc "arm" (silicium).
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Représentation des échanges thermiques.
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Courbe puissance volumique en fonction de T.
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Passage 3D --> 2D (calculs)
Le calcul proposé ci-dessus est réalisé avec
LabelMover
selon la procédure
suivante :
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Relever la puissance volumique dans le modèle sans correction.
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Faire une variation de cette puissance afin d'obtenir une température moyenne
comprise entre 0 °C et la température de fusion.
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Faire un tableau selon le calcul ci-contre que l'on dispose dans
le block "arm" dans une fonction Q(T)
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N'oublier pas de contrôler les unités, par exemple LabelMover retourne des Kelvin même
si le problème utilise les degrès centigrades, mais retourne également
des μm³ si le problème est défini en microns, donc LabelMover ne retourne pas
systèmatiquement des unités S.I.
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Estimation avec LabelMover du flux thermique vertical.
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Fichiers et comparatif avec Ansys
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Comparaison Ansys - QuickField |
Grandeur |
Ansys |
QuickField |
Tension (point 7) (V) |
3.89 |
∼3.89 |
Température max (°C) |
835 |
848 |
Déplacement (points 8-9) (μm) |
17-18 |
18-19 |
Comparaisons des résultats.
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